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J-GLOBAL ID：200903036160631015

研磨布および研磨方法

Inventor： 鈴木 三恵子
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995040212
Publication number (International publication number)：1996229805
Application date： Feb. 28, 1995
Publication date： Sep. 10, 1996
Summary：

【要約】【目的】研磨布および研磨方法において、目ずまりによるスクラッチを起すことなく研磨剤を有効に利用できるとともにより精度の高い平坦面が得られるようにする。【構成】研磨布1の中央帯にウェハ5を高い研磨レートで研磨し得る緻密な多数の穴3を、外側と内側に研磨剤が通る溝2を設け、研磨布1を回転させるとともにウェハ5を自転させかつ半径方向に揺動させることによって、研磨布の中央部に滴下される研磨剤が研磨布の内側から外側に円滑に移送され、中央帯の研磨部で研磨された削り屑が研磨布の外側に留まることなく排出される。

Claim (excerpt)：

円盤状の回転定盤に被着されるとともに研磨剤が供給されながら被研磨物を研磨する研磨布において、研磨布の内側部分と外周部分の表面に前記研磨剤が流通する溝が形成されるとともに該溝が形成される表面以外は前記研磨剤が停留する複数の穴が形成されていることを特徴とする研磨布

IPC (2)：

B24B 37/00 ,  H01L 21/304 321

FI (2)：

B24B 37/00 C ,  H01L 21/304 321 Z