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J-GLOBAL ID：200903036182295396

V(z)特性による超音波音速測定装置およびこれを用いた超音波顕微鏡

Inventor： 中鉢 憲賢 ,  金井 浩
Applicant, Patent owner： 中鉢 憲賢 ,  金井 浩
Agent (1)： 梶山 佶是 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991331308
Publication number (International publication number)：1993018942
Application date： Nov. 20, 1991
Publication date： Jan. 26, 1993
Summary：

【要約】【目的】 Z方向の移動距離を少なくでき、また、材料の構造分析における分解能を向上させることができ、あるいは解像度の高い測定映像を得ることができる超音波顕微鏡を提供することにある。【構成】 漏洩弾性表面波成分と音響プローブの中心部付近の反射波成分とのそれぞれの受信信号についてその強度のほか、位相差をZ方向の位置の関数として検出すしているので、漏洩弾性表面波成分のデフォーカス方向の位置に対するベクトル関数のデータを算出するとができ、これにより材料の弾性表面波の音速を得ることができる。したがって、前記の速度の測定に当たってはZ方向の移動距離に対して複数点で強度と位相差の測定データを採取する測定だけで済み、その移動距離は、周期Δzの1周期以下でもよい。

Claim (excerpt)：

音響レンズと、この音響レンズの一方の面の中央部に配置された第1のトランスジューサと、前記一方の面でこの第1のトランスジューサの外側に配置された第2のトランスジューサとを有し、第1のトランスジューサと第2のトランスジューサとが同時に駆動され、前記音響レンズの他方の面より超音波を送出する集束型音響プローブと、この音響プローブの焦点位置から前記音響プローブ側のデフォーカス位置に被検体を相対的移動させる移動手段と、前記音響プローブが駆動されることにより第1のトランスジューサから得られる第1の受信信号の強度及び位相差と、第2のトランスジューサから得られる第2の受信信号の強度及び位相差との値をサンプリングしかつ第1及び第2の受信信号の位相差が前記音響プローブを駆動した信号あるいはこれに対応する基準信号に対する差として与えられるサンプリング手段、そして、前記移動手段により移動した複数の前記デフォーカス方向の位置のそれぞれにおいて前記サンプリングにより得られたデータに基づき前記音響プローブにより受信された漏洩弾性表面波成分の前記デフォーカス方向の位置に対するベクトル関数のデータを得て前記漏洩弾性表面波成分の速度を算出する音速算出手段とを備えるV(z)特性による超音波音速測定装置。

IPC (3)：

G01N 29/20 501 ,  G01N 29/22 501 ,  G01N 29/26 502