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J-GLOBAL ID：200903036184298341

照明装置及びそれを用いた露光装置

Inventor： 古田 和紀
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 高梨 幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998196619
Publication number (International publication number)：2000019742
Application date： Jun. 26, 1998
Publication date： Jan. 21, 2000
Summary：

【要約】【課題】 光路中の光学素子の交換作業を簡単かつ迅速に行うことができるようにするとともに、光源の長寿命化を図ることの可能な照明装置及びそれを用いた露光装置を提供すること。【解決手段】 光源1からの光束を照明光学系に入射させ、該照明光学系からの光束により被照明面を照明する照明装置であって、該照明光学系の少なくとも一部を構成する光学素子2(3)と、該光学素子2,3を複数保持する保持手段4と、該保持手段4を駆動して光路中に存在する光学素子2を他の光学素子3に交換する駆動手段と、照明を行う場合には該被照明面の照度に基づいて該被照明面を所定照度とする定照度モードを選択し、該光学素子の交換を行う場合には該定照度モードとは異なるモードを選択して、光源を制御する光源制御手段と、を有すること。

Claim (excerpt)：

光源からの光束を照明光学系に入射させ、該照明光学系からの光束により被照明面を照明する照明装置であって、該照明光学系の少なくとも一部を構成する光学素子と、該光学素子を複数保持する保持手段と、該保持手段を駆動して光路中に存在する光学素子を他の光学素子に交換する駆動手段と、 照明を行う場合には該被照明面の照度に基づいて該被照明面を所定照度とする定照度モードを選択し、該光学素子の交換を行う場合には該定照度モードとは異なるモードを選択して、光源を制御する光源制御手段と、を有することを特徴とする照明装置。

IPC (2)：

G03F 7/20 501 ,  H01L 21/027

FI (2)：

G03F 7/20 501 ,  H01L 21/30 515 D

F-Term (10)：

2H097BA02 ,  2H097BB01 ,  2H097LA12 ,  5F046CA04 ,  5F046CB02 ,  5F046CB05 ,  5F046CB12 ,  5F046CB13 ,  5F046DA01 ,  5F046DB01