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J-GLOBAL ID：200903036216662350

スピンバルブ型磁気ヘッドおよびスピンバルブ型磁気ヘッド製造方法

Inventor： 西岡 浩一 ,  神尾 浩 ,  重松 恵嗣 ,  今川 尊雄 ,  成重 真治
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 笹岡 茂 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997128011
Publication number (International publication number)：1998308004
Application date： May. 01, 1997
Publication date： Nov. 17, 1998
Summary：

【要約】【課題】 動作温度範囲で特性変化のないスピンバルブ型磁気ヘッドを提供。【解決手段】 スピンバルブの固定層の反強磁性層をCr,Mn,Ptを含む合金とし、反強磁性層のブロッキング温度(Tb)より低温度で磁気ギャップ深さ方向に固定層を磁気飽和するに十分な磁界を印加、保持し、磁界中冷却した後、Tbより低い温度で、スピンバルブの自由層の磁化をトラック幅方向の飽和に十分な最小磁界を該方向に印加し、保持する。固定層の一方向異方性の結合磁界Heが、プロセス最高温度をTmaxとし、素子高さをhMR(μm)として、He(Tmax)≧60+100/hMR[Oe]とし、反強磁性層組成を(Cr100-x Mnx)100-y Pty、2≦y、40≦x≦70とし、柱状結晶粒とし、膜厚コントロ-ルにより反強磁性層平均結晶粒径を2.7×10~18cm3以上とし、bctの(110)を膜面に平行とし、長軸を膜面内に有するようにし、Tmax以上のTbを有する固定層成分まで磁化を所望の方向に固定できる。

Claim (excerpt)：

第一及び第二の二つの強磁性層を有し、第一強磁性層と第二強磁性層の間に非磁性導電層を有し、第一強磁性層は該非磁性導電層と接する面と異なる面で反強磁性層と直接接触するスピンバルブを備えるスピンバルブ型磁気ヘッドにおいて、該反強磁性体は主としてCrとMnとPtを含む合金であり、該反強磁性体が第一の強磁性体に与える一方向異方性の結合磁界が消失する温度(ブロッキング温度)が摂氏250度を越えることを特徴とするスピンバルブ型磁気ヘッド。