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J-GLOBAL ID：200903036223150659

モアレ装置

Inventor： 小林 富美男 ,  松田 信一
Applicant, Patent owner： 富士写真光機株式会社
Agent (1)： 川野 宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998175718
Publication number (International publication number)：2000009445
Application date： Jun. 23, 1998
Publication date： Jan. 14, 2000
Summary：

【要約】【目的】 フリンジスキャン機能を備えた格子投影型のモアレ装置において、投影格子の近接位置に所定の固定格子を配置してモアレ縞を形成し、このモアレ縞の変化を利用して投影格子の移動量を算出することにより、フリンジスキャン精度の向上を図る。【構成】 投影光学系の投影格子40に近接する位置に、該投影格子40と同一ピッチの固定格子102を交差角5°で配置する。これら両格子により形成されるモアレ縞は投影格子40の移動に伴って変化するので、この変化を検出することにより投影格子40の移動量を算出する。モアレ縞の変化の検出は、固定格子102に近接配置されたフォトセル104によりモアレ縞の照度を検出することにより行う。

Claim (excerpt)：

互いに平行な光軸を有する投影光学系および観測光学系を備え、前記投影光学系により投影格子の像を被測定体上に投影させるとともに、前記観測光学系により前記被測定体上に形成された変形格子像を観測用基準格子上に結像させ、これにより生じるモアレ縞を観測するように構成されており、前記投影格子を前記両光軸と直交する平面内で前記両格子の格子線と直交する方向に移動させるように構成されたモアレ装置において、前記投影格子に近接する位置に該投影格子と略同一ピッチの固定格子を配置してこれら両格子によりモアレ縞を形成し、前記投影格子の移動に伴う該モアレ縞の変化を検出することにより前記投影格子の移動量を算出するように構成されていることを特徴とするモアレ装置。

F-Term (33)：

2F065AA02 ,  2F065AA04 ,  2F065AA09 ,  2F065AA45 ,  2F065AA53 ,  2F065AA56 ,  2F065BB05 ,  2F065BB18 ,  2F065CC21 ,  2F065DD03 ,  2F065FF06 ,  2F065FF07 ,  2F065GG02 ,  2F065GG06 ,  2F065GG07 ,  2F065GG08 ,  2F065GG22 ,  2F065HH02 ,  2F065HH06 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ22 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL10 ,  2F065LL12 ,  2F065LL22 ,  2F065LL63 ,  2F065MM16 ,  2F065PP22 ,  2F065PP23