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J-GLOBAL ID：200903036279722345
空気バネ式除振台の流量制御装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山田 明信
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992092964
Publication number (International publication number)：1993296288
Application date： Apr. 13, 1992
Publication date： Nov. 09, 1993
Summary：
【要約】【目的】 大型の空気バネ式除振台の架台を短時間で浮上させる流量制御装置を提供すること。【構成】 ステッパーや精密測定機器を載せる為の架台1とこの架台1を支える為の大容量の空気バネ3と架台1を浮上させる為に空気バネ3にエアーを供給する付加タンク2を備えた空気バネ式除振台の流量制御装置に、付加タンク2へエアーを供給するための配管経路を2経路設け、圧力検知手段の測定により付加タンク2内の圧力が低い時にはエアー供給手段により第1の配管経路を介してエアーを付加タンク2内に供給させ、付加タンク2内の圧力が架台1が浮上する少し手前の圧力に達すると第2の配管経路を介して自動圧力調整器4のみへエアーを通過させてから付加タンク2ないにエアーを供給させる。このような2経路の配管経路を制御する制御手段を設けることにより、圧力の低い時は直接付加タンク2内にエアーを供給することができるので、短時間で架台1を適正レベルに保持することができる。
Claim (excerpt)：
付加タンクと前記付加タンクへのエアー圧力を調整するための自動圧力調整器と前記付加タンクを浮上させるためのエアー供給手段とを備えた空気バネ式除振台の流量制御装置において、前記付加タンクの圧力を計るための圧力検知手段と前記エアー供給手段から前記付加タンクへ直接エアーを供給する第1の配管経路と、前記エアー供給手段から前記自動圧力調整器を経由して前記付加タンクへエアーを供給する第2の配管経路とを設けており、前記第1の配管経路と第2の配管経路とへ選択的にエアーを供給するために、圧力検知手段からの信号により動作する制御手段とを備えていることを特徴とする空気バネ式除振台の流量制御装置。
IPC (3)：
F16F 15/04
, F16F 9/02
, F16F 15/02
Cited by examiner (8)
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