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J-GLOBAL ID：200903036281104993

ガスセンサ

Inventor： 安川 佳和 ,  稲垣 訓宏
Applicant, Patent owner： 株式会社クラベ ,  静岡大学長
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991224557
Publication number (International publication number)：1993045321
Application date： Aug. 10, 1991
Publication date： Feb. 23, 1993
Summary：

【要約】【目的】 イオウ系の化合物ガスなどの雑ガスの影響を受けにくく、優れた感度を安定して示すガスセンサを提供する。【構成】 絶縁基板1上に、Au(金)及びSn(スズ)を真空蒸着し、更に空気中で熱処理することによりSnO2 (酸化スズ)を主成分とした薄膜状ガス感応体2を形成する。次に、薄膜状ガス感応体2上にPd(パラジウム)からなる触媒3及びくし型Au電極4を真空蒸着法により順次形成する。最後に、これらの表面に膜厚10nmのプラズマポリマー5を被覆してガスセンサを完成する。

Claim (excerpt)：

白金族触媒を含むガスセンサの表面がプラズマポリマーで被覆されてなるガスセンサ。