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J-GLOBAL ID：200903036287818050
エリプソメータ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中井 宏行
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992202402
Publication number (International publication number)：1994050880
Application date： Jul. 29, 1992
Publication date： Feb. 25, 1994
Summary：
【要約】【目的】 1回の測定で単色光線複数波長分の測定が行えるエリプソメータを提供する。【構成】 測定試料14に直線偏光を照射し、この時、測定試料14より反射して来る偏光の強度分布を、回転検光子15と光検出器を用いて測定することによって、測定試料14の光学定数及び膜厚を得る分光型のエリプソメータにおいて、回転検光子15の後方には、透過波長の異なる複数の単色光フィルター2を、上記偏光の光軸に対して垂直かつ同一平面上に配列すると共に、上記光検出器を、上記複数の単色光フィルター2の透過光を個別に受光する2次元光検出器3とした構成となっている。
Claim (excerpt)：
測定試料に直線偏光を照射し、この時、上記測定試料より反射して来る偏光の強度分布を、回転検光子と光検出器を用いて測定することによって、上記測定試料の光学定数及び膜厚を得る分光型のエリプソメータにおいて、上記回転検光子の後方には、透過波長の異なる複数の単色光フィルターを、上記偏光の光軸に対して垂直かつ同一平面上に配列すると共に、上記光検出器を、上記複数の単色光フィルターの透過光を個別に受光する2次元光検出器としたことを特徴とするエリプソメータ。
IPC (3)：
G01N 21/21
, G01J 4/04
, G01J 3/447
