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J-GLOBAL ID：200903036291337244

低誘電率膜用組成物、低誘電率膜及びその製造方法、並びに、半導体装置

Inventor： 今 純一 ,  野崎 耕司 ,  矢野 映
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 廣田 浩一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003002563
Publication number (International publication number)：2004212887
Application date： Jan. 08, 2003
Publication date： Jul. 29, 2004
Summary：

【課題】低誘電率であり、かつ誘電率の安定性が高い低誘電率膜及びその製造方法、並びに該低誘電率膜を有する半導体装置の提供。【解決手段】アルカリ現像可能な基材樹脂と、感光剤と、分解乃至揮発可能な分解性成分とを含む低誘電率膜用組成物。アルカリ現像可能な基材樹脂が分子内にフェノール性水酸基を有する態様、低誘電率膜用組成物を用いて膜を形成する膜形成工程と、該膜に対し熱処理及び電離放射線照射処理の少なくともいずれかを行って該膜を多孔質化する多孔質化工程とを含む低誘電率膜の製造方法。膜が、低誘電率膜用組成物を基材上に塗布して形成され、膜形成工程の後であって多孔質化工程の前に、該膜に対し選択露光及び現像を行ってパターンを形成するパターン形成工程を行うことを含み、該膜が前記多孔質化工程において硬化される態様が好ましい。該低誘電率膜の製造方法により形成される低誘電率膜。該低誘電率膜を有する半導体装置。【選択図】 なし

Claim (excerpt)：

アルカリ現像可能な基材樹脂と、感光剤と、分解乃至揮発可能な分解性成分とを含むことを特徴とする低誘電率膜用組成物。

IPC (8)：

G03F7/032 ,  C08J9/06 ,  C08K5/00 ,  C08L101/12 ,  G03F7/039 ,  G03F7/40 ,  H01L21/312 ,  H01L21/768

FI (8)：

G03F7/032 ,  C08J9/06 ,  C08K5/00 ,  C08L101/12 ,  G03F7/039 501 ,  G03F7/40 ,  H01L21/312 D ,  H01L21/90 S

F-Term (99)：

2H025AA20 ,  2H025AB16 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB28 ,  2H025CB29 ,  2H025CB45 ,  2H025CC08 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H025FA30 ,  2H096AA25 ,  2H096BA01 ,  2H096BA09 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  2H096HA03 ,  2H096HA30 ,  4F074AA32 ,  4F074AA60 ,  4F074AA61 ,  4F074BA12 ,  4F074BA20 ,  4F074BA22 ,  4F074CC06X ,  4F074CC28X ,  4F074CC42Y ,  4F074DA03 ,  4F074DA47 ,  4J002AB012 ,  4J002BB002 ,  4J002BC121 ,  4J002BE012 ,  4J002BE042 ,  4J002BG002 ,  4J002CC031 ,  4J002CC041 ,  4J002CD002 ,  4J002CF002 ,  4J002CL002 ,  4J002DE196 ,  4J002EB116 ,  4J002EN026 ,  4J002EN066 ,  4J002EQ016 ,  4J002ES016 ,  4J002EU076 ,  4J002EU136 ,  4J002EU186 ,  4J002EV216 ,  4J002EV246 ,  4J002EV326 ,  4J002FD206 ,  4J002FD322 ,  4J002GQ05 ,  5F033HH11 ,  5F033HH13 ,  5F033HH33 ,  5F033JJ11 ,  5F033JJ19 ,  5F033JJ33 ,  5F033KK01 ,  5F033KK11 ,  5F033KK33 ,  5F033MM01 ,  5F033MM02 ,  5F033MM12 ,  5F033MM13 ,  5F033NN05 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033PP03 ,  5F033PP06 ,  5F033PP15 ,  5F033PP27 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ48 ,  5F033QQ54 ,  5F033QQ74 ,  5F033RR06 ,  5F033RR21 ,  5F033RR27 ,  5F033RR29 ,  5F033SS15 ,  5F033SS22 ,  5F033XX24 ,  5F033XX28 ,  5F058AA10 ,  5F058AC07 ,  5F058AD08 ,  5F058AF04 ,  5F058AF06 ,  5F058AG01 ,  5F058AG07 ,  5F058AH02