Pat

J-GLOBAL ID：200903036292866194

静電チヤツク

Inventor： 渡部 俊也 ,  北林 徹夫
Applicant, Patent owner： 東陶機器株式会社
Agent (1)： 下田 容一郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991246965
Publication number (International publication number)：1993063062
Application date： Aug. 30, 1991
Publication date： Mar. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】 静電チャックに対する電圧の印加を解除した場合の静電力の残留時間を短くする。【構成】 静電チャックは基板1上に絶縁層2を形成し、これら基板1と絶縁層2の間に電極3を形成し、この電極3をリード線4を介して直流電源5に接続し、半導体ウエハWはアースと直接接続されているか、またはプラズマによる電気的接続をしている。そしてこの静電チャックには図に示すような等価回路が成立する。

Claim (excerpt)：

絶縁層内に内部電極を設けた静電チャックにおいて、静電チャックの使用温度における前記絶縁層の体積固有抵抗をρ(Ωm)、静電チャックの使用温度における前記絶縁層の比誘電率をεr、内部電極と絶縁層表面との間隔(厚さ)をd(m)、被吸着物と絶縁層表面とのギャップをδ(m)とした場合、これらは以下の(数1)に示す関係にあることを特徴とする静電チャック。【数1】

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-022166
  
• 特開昭62-286248
  
• 特開昭62-002632