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J-GLOBAL ID：200903036303654267

干渉計測方法および干渉計測装置

Inventor： 山田 秀則
Applicant, Patent owner： 富士ゼロックス株式会社
Agent (1)： 平田 忠雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999026363
Publication number (International publication number)：2000221013
Application date： Feb. 03, 1999
Publication date： Aug. 11, 2000
Summary：

【要約】【課題】 波長を越える段差や絶対距離を含んだ形状の測定を高精度かつ高速に測定ミスを招くことなく行うことが可能な干渉計測方法および干渉計測装置を提供する。【解決手段】 観察面から原器64までの光路長と観察面から測定対象面4aまでの光路長の差が所定の範囲になるように測定対象面4aの位置を設定する。第1および第2の波長のレーザ光を原器64および測定対象面4aに出射して干渉を生じさせ、撮像管67A,67Bによって第1の波長の干渉縞画像と第2の波長の干渉縞画像を個別に検出する。各干渉縞画像を基に第1および第2の位相分布を演算し、第1および第2の位相分布を基に所定の範囲にわたり原器64と測定対象面4aとの絶対距離の概略情報を演算し、第1あるいは第2の位相分布を基に精密な形状情報を演算し、絶対距離の概略情報および精密な形状情報を基に測定対象面の精密な絶対形状情報を演算する。

Claim (excerpt)：

観察面から基準面までの光路長と前記観察面から測定対象面までの光路長の差が所定の範囲になるように、前記観察面あるいは前記測定対象面の一方あるいは両方を設定する第1のステップと、第1の波長の光波と第2の波長の光波を前記基準面および前記測定対象面に照射し、前記基準面で反射した前記第1の波長の光波と前記測定対象面で反射、あるいは前記測定対象面を透過した前記第1の波長の光波とを干渉させるとともに、前記基準面で反射した前記第2の波長の光波と前記測定対象面で反射、あるいは前記測定対象面を透過した前記第2の波長の光波とを干渉させる第2のステップと、前記第1の波長の光波の干渉によって生じた前記第1の波長の干渉縞画像、および前記第2の波長の光波の干渉によって生じた前記第2の波長の干渉縞画像を個別に検出する第3のステップと、前記第1の波長の干渉縞画像に基づいて測定対象波面の2πの区間にラップされた第1の位相分布を演算するとともに、前記第2の波長の干渉縞画像に基づいて測定対象波面の2πの区間にラップされた第2の位相分布を演算する第4のステップと、前記第1および第2の位相分布に基づいて、前記所定の範囲にわたり前記基準面と前記測定対象面との絶対距離の概略情報を演算する第5のステップと、前記第1および第2の位相分布のいずれか一方の位相分布に基づいて、前記2πの区間にわたり精密な形状情報を演算する第6のステップと、前記絶対距離の概略情報および前記精密な形状情報に基づいて、前記所定の範囲にわたり前記測定対象面の精密な絶対形状情報を演算する第7のステップとを含むことを特徴とする干渉計測方法。

F-Term (16)：

2F065AA02 ,  2F065AA22 ,  2F065AA45 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065FF46 ,  2F065FF51 ,  2F065GG02 ,  2F065GG05 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ23 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL37 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ41