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J-GLOBAL ID：200903036357158656

位置合せ光学系の可変減光方法

Inventor： 森口 泰之
Applicant, Patent owner： 日立電子エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 梶山 佶是 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995350936
Publication number (International publication number)：1997179043
Application date： Dec. 25, 1995
Publication date： Jul. 11, 1997
Summary：

【要約】【課題】 2種類の基板のうち一方の基板の反射率が大きいとき、一方の基板の反射光を簡易な方法により連続的に減光する。【解決手段】 光源61の照明光LT をランダム偏光光とし、光源61と両基板1,2の間に挿入され、偏光角が回転可能な第1の偏光板67と、両基板とCCDカメラ65の間に挿入され、偏光角が一定方向に設定された第2の偏光板68とを設け、両基板1,2の一方の反射率が大きくて、その反射光によりCCDカメラ65の画像信号が飽和するとき、第1の偏光板67の偏光角の回転により照明光LT の偏光角を調整して、第2の偏光板68を透過する反射光を適切に減光する。【効果】 CCDカメラ65の飽和が防止されて、両基板1,2の位置合せが正確になされる。

Claim (excerpt)：

2種類の基板を重ね合わせ、該両基板にそれぞれ設けられ、互いに微小距離離隔した位置合せマークに対して、光源よりの照明光を照射して、CCDカメラにより撮像する位置合せ光学系において、上記照明光をランダム偏光光とし、該光源と両基板の間に挿入され、偏光角が回転可能な第1の偏光板と、該両基板と該CCDカメラの間に挿入され、偏光角が一定方向に設定された第2の偏光板とを設け、該両基板の一方の反射率が大きくて、その反射光により該CCDカメラの画像信号が飽和するとき、該第1の偏光板の偏光角の回転により上記照明光の偏光角を調整して、該第2の偏光板を透過する該反射光の光量を低減し、該画像信号の飽和を防止することを特徴とする、位置合せ光学系の可変減光方法。

IPC (4)：

G02B 26/08 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/1339 505

FI (4)：

G02B 26/08 G ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/1339 505