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J-GLOBAL ID：200903036360420191

映像検査のためのインテグラル視野レンズ照明

Inventor： グレイブズ,テリー エル. ,  フエイン,ハワード
Applicant, Patent owner： プレスコ テクノロジー インコーポレーテッド
Agent (1)： 川北 武長
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1996508718
Publication number (International publication number)：1998505155
Application date： May. 22, 1995
Publication date： May. 19, 1998
Summary：

【要約】光学式検査システム(A)における分離した検査品のための照明システムで、撮像システム(C)と、それに対応する照明システム(B)を含む。ビームスプリッタ(16)が光源(10)からの光をさえぎり、その1部を視野レンズ(20)へ送る。視野レンズ(20)は次にその光を視野(22)に置かれた検査品(24)へ送る。検査品(24)から反射された光は視野レンズ(20)を通って戻り、ビームスプリッタ(16)を通過して、最終的に映像カメラ(34)に送られ、この反射光からデジタル化された画像が得られる。別の実施例においては、検査品(24)から反射され、ビームスプリッタ(16)を通過した光が、第2のビームスプリッタ(30)に送られる。そこで分割された光が第1および第2の映像カメラ(34、36)に送られ、それによって検査品(24)の別の部分の映像化が可能となる。

Claim (excerpt)：

映像検査照明システムであって、 ビームスプリッタと、 ビームスプリッタに光を向かわせる光源と、 光源からの光の一部をビームスプリッタを通して受け、それを視野に送って視野内にある対象検査品(associated specimen)から反射される光を受け取る視野レンズと、 実質的に全ての光が光源からビームスプリッタと視野レンズを通って視野に達するように、光源を視野に対して固定する手段とを含むシステム。

IPC (3)：

G01B 11/30 ,  G01N 21/84 ,  G01N 21/88

FI (3)：

G01B 11/30 C ,  G01N 21/84 E ,  G01N 21/88 Z