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J-GLOBAL ID：200903036399628644

工程管理図作成システムおよび作成方法

Inventor： 郷 直樹
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 富田 和子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996145924
Publication number (International publication number)：1997330858
Application date： Jun. 07, 1996
Publication date： Dec. 22, 1997
Summary：

【要約】【課題】 シューハートの提唱する統計的管理状態に達しない状態であっても、適切に製品の品質管理をすることができる管理図作成システムを提供する。【解決手段】 多項分布モデル生成部160、多変量ベータ分布生成部162、多変量ベータ多項分布生成部164により、工程の変量模型的変化が所定の範囲であるときに、工程自体を異常であると判断しないような複合分布モデルを生成し、第1の管理図作成部168により、得られた複合分布モデルにしたがって管理図が作成される。

Claim (excerpt)：

ある工程により得られる製品或いは半製品の品質特性値の変動に基づき、該工程が安定状態か否かを判断するための管理図を作成する管理図作成システムであって、前記工程の変量模型的変化が所定の範囲であるときに、工程自体を異常であると判断しないような複合分布モデルを生成する第1の分布モデル生成手段と、前記第1の分布モデル生成手段により得られた複合分布モデルにしたがって管理図を作成する第1の管理図作成手段とを備えたことを特徴とする工程管理図作成システム。

IPC (5)：

H01L 21/02 ,  G06F 17/60 ,  G06F 17/50 ,  B23Q 41/08 ,  G05B 15/02

FI (6)：

H01L 21/02 Z ,  B23Q 41/08 Z ,  G06F 15/21 R ,  G06F 15/21 L ,  G06F 15/60 636 F ,  G05B 15/02 Z