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J-GLOBAL ID：200903036408590612

ダイヤモンド堆積用超硬合金の表面処理方法

Inventor： 三ッ泉 誠
Applicant, Patent owner： 新日本無線株式会社
Agent (1)： 緒方 保人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994251387
Publication number (International publication number)：1996092741
Application date： Sep. 20, 1994
Publication date： Apr. 09, 1996
Summary：

【要約】【目的】 超硬合金の表面に、アンカー効果を十分に発揮する凹凸を形成し、ダイヤモンド膜の密着力が高められるようにする。【構成】 炭化タングステン基の超硬合金基材10の表面に、元素周期律表IVa族、Va族、VIa族の金属炭化物、炭化ケイ素又はアルミナ等のセラミック粒子、例えば粒子径1〜100μmのTiCのセラミック粒子12を埋め込み、その後に鉱酸を電解液とした電解エッチング処理を施して三角錐状の突起14からなる凹凸を形成し、この超硬合金基材10の表面にCVD法にてダイヤモンド膜16を成形する。上記セラミック粒子12はマスクの役目をするので、三角錐状突起14が均一かつ高密度に形成され、これによりダイヤモンド膜成形の際の十分なアンカー効果を得ることができる。

Claim (excerpt)：

炭化タングステン基超硬合金の表面に、元素周期律表IVa族、Va族、VIa族の金属炭化物、炭化ケイ素又はアルミナ等のセラミック粒子を埋め込み、このセラミック粒子埋め込み超硬合金の表面に、鉱酸を電解液とした電解エッチング処理を施すことにより凹凸を形成し、その後この凹凸形成の超硬合金表面に気相法によってダイヤモンド膜を成形するダイヤモンド堆積用超硬合金の表面処理方法。

IPC (6)：

C23C 16/02 ,  B23P 15/28 ,  C23C 16/26 ,  C30B 29/04 ,  B23B 27/14 ,  B23B 27/20