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J-GLOBAL ID：200903036446419595
集光装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992040884
Publication number (International publication number)：1993241111
Application date： Feb. 27, 1992
Publication date： Sep. 21, 1993
Summary：
【要約】【目的】この発明の目的は、集光効率が高く、且つ、サイドロ-ブ強度の小さい集光光学系を提供することにある。【構成】この発明の対物レンズ10は、表面10f (または裏面10r) の一部に、自身に入射される光が通過する光路長を変化させることで、少なくとも3領域に波面分割できる突出部10bを有している。即ち、上記対物レンズ10には、上記凸状部10bに対して相対的に凹部となる領域10a及び10c、及び、この凸状部10bによって、3領域構造アポダイザの機能が与えられている。この対物レンズ10を通過された光は、それぞれの領域に応じて集束され、或いは、位相が反転されて、所望の位置に配置される結像面上に結像される。この場合、結像された光のビ-ムスポットは、十分に集束されるとともに。上記ビ-ムスポットの周辺に生じるサイドロ-ブは、十分に低減される。
Claim (excerpt)：
実質的に等しい屈折力を有する少なくとも3つの領域を含み、入射された光を波面分割するとともに、それぞれの領域毎に入射されるそれぞれの光に対して所望の光学特性を与えることで、所望の集束位置に集束される上記光のスポットの大きさを十分に小さくできる集光装置。
IPC (3)：
G02B 27/58
, G02B 27/00
, G11B 7/135
