感放射線性樹脂組成物

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大島正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999362868
Publication number (International publication number)：2000241980
Application date： Dec. 21, 1999
Publication date： Sep. 08, 2000
Summary：

【要約】【課題】各種の放射線に有効に感応し、解像度およびパターン形状が優れ、かつ膜面荒れも小さく、さらに光近接効果が小さく、ライン・アンド・スペースパターン、孤立パターン、コンタクトホールパターンのいずれについても、微細パターンを高精度にかつ安定して形成することができる化学増幅型ポジ型レジストとして有用な感放射線性組成物を提供する。【解決手段】 p-ヒドロキシスチレン類の重合単位とp-シクロヘキシルオキシメチルオキシスチレン類の重合単位を含有する重合体、およびp-ヒドロキシスチレン類の重合単位とp-t-ブトキシカルボニルオキシスチレン類の重合単位を含有する重合体並びに感放射線性酸発生剤を含有する感放射線性組成物。

Claim (excerpt)：

(A)下記式(1)【化1】(式中、R1は水素原子またはメチル基を示す。)で表される繰返し単位と下記式(2)【化2】(式中、R1の定義は上記に同じであり、R2は水素原子またはメチル基を示し、R3はメチル基またはエチル基を示す。)で表される繰返し単位を含む共重合体、(B)上記式(1)で表される繰返し単位と下記式(3)【化3】(式中、R1の定義は上記に同じである)で表される繰返し単位を含む共重合体、並びに(C)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性組成物。

IPC (2)：

G03F 7/039 601 , H01L 21/027

FI (2)：

G03F 7/039 601 , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

感放射線組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-027847 Applicant：三菱化学株式会社
感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-047783 Applicant：日本合成ゴム株式会社
感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-008708 Applicant：日本合成ゴム株式会社

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