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J-GLOBAL ID：200903036466525405

防汚性ガラス基板の製造方法

Inventor： 鈴木 すすむ ,  竹田 諭司
Applicant, Patent owner： 旭硝子株式会社
Agent (1)： 渡辺 望稔 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997360505
Publication number (International publication number)：1999189433
Application date： Dec. 26, 1997
Publication date： Jul. 13, 1999
Summary：

【要約】【課題】密着性に優れるため、機械的応力を加えても防汚層が剥離せず、長期間にわたって優れた防汚性を発揮することができる防汚性ガラス基板を得ることができる方法の提供。【解決手段】ガラス基体の表面に、アルゴンおよび/または水素によるプラズマ処理を施した後、スパッタリング法によって非晶質カーボンを主成分とする防汚層を形成する工程を有する防汚性ガラス基板の製造方法。

Claim (excerpt)：

ガラス基体の表面に、アルゴンおよび/または水素によるプラズマ処理を施した後、スパッタリング法によって非晶質カーボンを含む防汚層を形成する工程を有する防汚性ガラス基板の製造方法。

IPC (4)：

C03C 17/22 ,  C23C 14/02 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/34

FI (4)：

C03C 17/22 Z ,  C23C 14/02 Z ,  C23C 14/06 F ,  C23C 14/34 N