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J-GLOBAL ID：200903036470766506

サンプルを調査する装置及び方法

Inventor： コール,ブライアン,エドワード ,  アーノン,ドナルド,ドミニク ,  クラフ,ジュリアン
Applicant, Patent owner： テラビュー リミテッド
Agent (4)： 伊東 忠彦 ,  大貫 進介 ,  伊東 忠重 ,  中村 雅文
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2002557984
Publication number (International publication number)：2004520583
Application date： Jan. 16, 2002
Publication date： Jul. 08, 2004
Summary：

サンプルを調査する装置であって、放射のビームの供給源と、画像化されるサンプルにより反射された又は透過された放射のビームを検出する検出器と、供給源と検出器の間でビームを操作する光学サブシステムと、サンプルをわたりビームを走査するために、供給源と検出器に関する第1の移動軸に沿って光学サブシステムを移動する手段と、を有し、供給源と検出器はサブシステムの反対側にあり、供給源からのビームと反射又は透過されたビームは、各々が、第1の移動の方向に平行な方向にサブシステムに入り且つ出る。装置は、光学サブシステムの移動中に、放射の2つのビームの相対位相を維持するのにも適する。

Claim (excerpt)：

サンプルを調査する装置であって、 放射のビームの供給源と、 サンプルにより反射された又は通して透過された放射のビームを検出する検出器と、 供給源と検出器の間でビームを操作する光学サブシステムと、 サンプルをわたりビームを走査するために、サンプルに関する第1の移動軸に沿って光学サブシステムを移動する手段と、を有し、 供給源からのビームは、第1の移動軸に平行な方向にサブシステムの1つの側でサブシステムに入り、反射又は透過されたビームは、第1の移動軸に平行な方向にサブシステムの反対の側でサブシステムから出る、サンプルを調査する装置。

IPC (2)：

G01N21/35 ,  G01N21/27

FI (2)：

G01N21/35 Z ,  G01N21/27 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 薄膜厚測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-299056   Applicant：ノバ・メジャリング・インストルメンツ・リミテッド