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J-GLOBAL ID：200903036477369812

液状体の塗布装置

Inventor： 原田 種真
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997195730
Publication number (International publication number)：1999033458
Application date： Jul. 22, 1997
Publication date： Feb. 09, 1999
Summary：

【要約】【課題】 この発明はディスペンサ装置のノズル体の位置測定を精密に行うことができるようにしたシ-ル剤の塗布装置を提供することを目的とする。【解決手段】 シ-ル剤を液晶用基板9に塗布するための塗布装置において、上記シ-ルが収容されるバレル27aおよびこのバレルの先端部に着脱自在に設けられ先端から上記バレル内の液状体が吐出されるノズル体27bとを有するディスペンサ27と、上記液晶用基板に対して上記ディスペンサを相対的にX、YおよびZ方向に移動させる駆動源15、17、19と、上記ノズル体の先端部を撮像しその撮像信号によってこのノズル体の先端部の位置を検出する撮像カメラ37、38とを具備したことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

液状体を板状体に塗布するための液状体の塗布装置において、上記液状体が収容されるバレルおよびこのバレルの先端部に着脱自在に設けられ先端から上記バレル内の液状体が吐出されるノズル体とを有するディスペンサと、上記板状体に対して上記ディスペンサを相対的にX、YおよびZ方向に移動させる駆動手段と、上記ノズル体の先端部を撮像しその撮像信号によってこのノズル体の先端部の位置を検出するノズル撮像手段とを具備したことを特徴とする液状体の塗布装置。

IPC (2)：

B05C 5/00 101 ,  B05C 11/00

FI (2)：

B05C 5/00 101 ,  B05C 11/00