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J-GLOBAL ID：200903036493249428
金属と酸化物からなる超格子多層膜の製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
工業技術院中国工業技術研究所長
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995290320
Publication number (International publication number)：1997110597
Application date： Oct. 11, 1995
Publication date： Apr. 28, 1997
Summary：
【要約】【課題】 金属間化合物と酸化物とを原料とし、新規機能材料として有用な、結晶性が良く、高品質の超格子多層膜を、真空成膜法によるエピタキシャル成長処理により、効率よく製造する方法を提供する。【解決手段】 面心正方晶構造又は面心立方晶構造の金属間化合物と塩化ナトリウム型立方晶構造の酸化物とから成り、かつこれらの格子定数の差が2%未満のものを原料として用い、真空成膜法によるエピタキシャル成長処理を施し、金属間化合物と酸化物とを交互に少なくとも2層積層させることにより、超格子多層膜を製造する。
Claim (excerpt)：
面心正方晶構造又は面心立方晶構造の金属間化合物と塩化ナトリウム型立方晶構造の酸化物とから成り、かつこれらの格子定数の差が2%未満のものを原料として用い、真空成膜法によるエピタキシャル成長処理を施し、金属間化合物と酸化物とを交互に少なくとも2層積層させることを特徴とする超格子多層膜の製造方法。
IPC (2)：
FI (2)：
C30B 29/68
, C30B 23/08 Z
