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J-GLOBAL ID：200903036495497631
電子放出素子、電子源、画像形成装置、及びこれらの製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
渡辺 敬介 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999045642
Publication number (International publication number)：2000243233
Application date： Feb. 24, 1999
Publication date： Sep. 08, 2000
Summary：
【要約】【課題】 良好な電子放出特性と高輝度を長時間にわたって実現できる電子放出素子とその製造方法を提供する。【解決手段】 基板1上に、素子電極2,3、及び導電性膜4を形成した後、該導電性膜4上に、ニッケル、コバルト、鉄、或いはこれらの酸化物からなる皮膜層6を形成した後、電子放出部5を形成し、活性化処理を行うことによって、該電子放出部5及びその近傍に、配向性及び結晶性の高いグラファイト状炭素を堆積させる。
Claim (excerpt)：
基板上に形成された一対の素子電極と、該素子電極のそれぞれに電気的に接続された導電性膜と、該導電性膜の一部に形成された電子放出部を有する電子放出素子であって、上記導電性膜上に、ニッケル、鉄、コバルトのうち少なくとも一種類の元素を含む被膜層を有し、且つ少なくとも上記電子放出部に、炭素を含む堆積物を有することを特徴とする電子放出素子。
IPC (2)：
FI (2)：
H01J 1/30 E
, H01J 9/02 E
