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J-GLOBAL ID：200903036504372111

プラズマディスプレイパネルの製造装置および製造方法

Inventor： 長谷川 和也 ,  加道 博行 ,  大河 政文
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 岩橋 文雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000331980
Publication number (International publication number)：2002140992
Application date： Oct. 31, 2000
Publication date： May. 17, 2002
Summary：

【要約】【課題】 放電特性の安定な優れた表示品位を実現するプラズマディスプレイパネルと、その製造装置および製造方法を提供する。【解決手段】 真空槽内で保護層を形成する際、真空槽内のみを移動するキャリアを用いる。

Claim (excerpt)：

誘電体層が形成された基板を、基板受けを設けたキャリアに搭載し移動させながら連続的に真空槽内において前記基板上に保護層を形成するプラズマディスプレイパネルの製造装置であって、キャリアに搭載された基板を別のキャリアに転載する手段を備えたチャンバーを有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造装置。

IPC (3)：

H01J 9/46 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/02

FI (3)：

H01J 9/46 A ,  H01J 9/02 F ,  H01J 11/02 B

F-Term (12)：

5C012AA09 ,  5C027AA07 ,  5C027AA10 ,  5C040FA01 ,  5C040FA04 ,  5C040GD09 ,  5C040GE09 ,  5C040JA07 ,  5C040JA21 ,  5C040JA34 ,  5C040JA40 ,  5C040MA30