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J-GLOBAL ID：200903036517007978

ダイヤモンドのプラズマエッチング加工方法

Inventor： 古滝 敏郎
Applicant, Patent owner： 並木精密宝石株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998060649
Publication number (International publication number)：1999236292
Application date： Feb. 25, 1998
Publication date： Aug. 31, 1999
Summary：

【要約】【目的】 大口径ダイヤモンド基板の一面を高速かつ高精度に、研削及び研磨加工する。【構成】 ダイヤモンドを微細加工するための微小な電極工具を作成し、アルゴンガスと、水素又は酸素原子を含有した混合ガス雰囲気中で、電極に直流電界もしくは高周波電界を印加することにより、その周囲にプラズマを発生させ、プラズマ中に生成した活性種によりダイヤモンド基板表面層を部分的に反応及び気化させることより、ダイヤモンド基材の表面層を所望の加工形状に成形する。

Claim (excerpt)：

ダイヤモンドの微細加工において、微小な加工電極にプラズマを発生させ、プラズマ中に生成した活性種を用いてダイヤモンド表面層を成形加工することを特徴としたダイヤモンドの加工方法。

IPC (4)：

C30B 29/04 ,  B28D 5/00 ,  C23F 4/00 ,  H05H 1/00

FI (4)：

C30B 29/04 Z ,  B28D 5/00 Z ,  C23F 4/00 A ,  H05H 1/00 Z