センサの設計およびプロセス

Inventor： , , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：岡部正夫 (外10名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000605219
Publication number (International publication number)：2002539460
Application date： Mar. 16, 2000
Publication date： Nov. 19, 2002
Summary：

【要約】地震データを測定する加速度計(305)。加速度計(305)は、真空密封プロセス中に使用する一体通気穴と、キャップ・ウェーハの反りを軽減する平衡金属パターンとを含む。加速度計(305)は、結合圧力を加速度計(305)の特定領域に隔離するため、頂部キャップ・プレス・フレーム窪み(405)および底部キャップ・プレス・フレーム窪み(420)も含む。加速度計(305)は、加速度計(305)の性能劣化を防止するため、真空密封され、平衡金属パターン(730)を含む。加速度計(305)に方形切断プロセスを実行して、加速度計(305)の電気リード線を絶縁する。加速度計(305)は、さらに、過剰衝撃保護バンパ(720)およびパターン形成金属電極を含み、加速度計(305)の作動中の静摩擦を軽減する。

Claim (excerpt)：

加速度計であって、空洞を有するハウジング、空洞内に配置されたばね質量アセンブリ、およびばね質量アセンブリに結合された1つまたは複数の電極パターンを含む、加速度を検出する測定質量と、頂部コンデンサ電極、頂部キャップ平衡金属パターン、頂部キャップ・プレス・フレーム窪み、および頂部キャップ過剰衝撃バンパを含む、測定質量に結合された頂部キャップ・ウェーハと、底部コンデンサ電極、底部キャップ平衡金属パターン、底部キャップ・プレス・フレーム窪み、および底部キャップ過剰衝撃バンパを含む、測定質量に結合された底部キャップ・ウェーハとを備える加速度計。

IPC (4)：

G01P 15/125 , G01H 1/00 , G01P 15/08 , H01L 29/84

FI (4)：

G01P 15/125 , G01H 1/00 E , H01L 29/84 Z , G01P 15/08 P

F-Term (15)：

2G064AB19 , 2G064BA08 , 2G064BD55 , 4M112AA02 , 4M112BA07 , 4M112CA03 , 4M112CA04 , 4M112CA06 , 4M112CA13 , 4M112DA04 , 4M112EA03 , 4M112EA06 , 4M112EA11 , 4M112EA13 , 4M112FA01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特許第2825664号
マイクロセンサ及びそれを用いた制御システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-063154 Applicant：株式会社日立製作所, 日立オートモテイブエンジニアリング株式会社
特表平3-501887

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