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J-GLOBAL ID：200903036569484979

高周波プラズマ用インピーダンス整合装置

Inventor： 藤井修逸
Applicant, Patent owner： 株式会社アドテック
Agent (1)： 新実 健郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993139505
Publication number (International publication number)：1994325897
Application date： May. 17, 1993
Publication date： Nov. 25, 1994
Summary：

【要約】【目的】 高周波電源とプラズマ反応チャンバーとの間のインピーダンス整合を効果的に行う。【構成】 高周波プラズマ用電源1とプラズマ反応チャンバ4における一対の電極6a、6bとの間に挿入されたインピーダンス整合装置であって、前記一対の電極6a、6bに導かれる一対の出力ライン中にn2 :1型インピーダンス変換器として接続された伝送線路トランス(但し、n=2以上の整数)3を挿入し、これによって電源の出力インピーダンス値の1/n2 の定格負荷インピーダンス値となるプラズマ反応チャンバー4に電力供給するようにしたものである。

Claim (excerpt)：

高周波プラズマ用電源とプラズマ反応チャンバにおける一対の電極との間に挿入されたインピーダンス整合装置であって、前記一対の電極に導かれる一対の出力ライン中にn2 :1型インピーダンス変換器として接続された伝送線路トランス(但し、n=2以上の整数)を挿入し、これによって電源の出力インピーダンス値の1/n2 の定格負荷インピーダンス値となるプラズマ反応チャンバーに電力供給するようにしたことを特徴とする高周波プラズマ用インピーダンス整合装置。

IPC (4)：

H05H 1/46 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/302

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭59-153303
  
• 特開昭58-158929