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J-GLOBAL ID：200903036573352750

高周波放電方法及びその装置並びに高周波処理装置

Inventor： 戸野谷 純一 ,  鈴木 啓之
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999007581
Publication number (International publication number)：1999317299
Application date： Jan. 14, 1999
Publication date： Nov. 16, 1999
Summary：

【要約】【課題】本発明は、真空容器内に配置するアンテナを単純な構造にする。【解決手段】アンテナ構造を直線状にし、この内部直線アンテナ9を1本又は複数本直列又は並列に接続し、プラズマ生成チャンバ1の内部に配置する。

Claim (excerpt)：

容器内に少なくとも1つの直線状のアンテナを配置し、このアンテナに高周波電力を供給することにより前記真空容器内に誘導電界を発生させてプラズマを生成する高周波放電方法。

IPC (5)：

H05H 1/46 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/31

FI (5)：

H05H 1/46 L ,  C23C 16/50 D ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 C ,  H01L 21/302 B