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J-GLOBAL ID:200903036573639324

空間フィルタリング装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 山田 正紀 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993282736
Publication number (International publication number):1995134268
Application date: Nov. 11, 1993
Publication date: May. 23, 1995
Summary:
【要約】【目的】本発明は、画像に所望の空間フィルタリングを施す空間フィルタリング装置に関し、例えば液晶表示パネル、CRTディスプレイ等、自ら光を射出する被測定体の輝度ムラ、色ムラ、傷、欠陥、異物付着等の検査に好適な空間フィルタリング装置を提供する。【構成】 液晶表示パネル11から発せられた光による画像をLCLV13に結像し、偏光板20を経由したレーザ光をLCLV13に照射し、その反射光を偏光板22を経由させることによりその画像を表わすレーザ光束を得る。そのレーザ光束に対し、空間フィルタリング処理を行なう。
Claim (excerpt):
光を放射する被測定体の該光を入射して該光による被写体像を形成する結像光学系と、コヒーレント光を射出するコヒーレント光源と、前記コヒーレント光源から射出されたコヒーレント光を入射して、該コヒーレント光を、前記結像光学系を経由して入射された被測定体像を担持するコヒーレント光に変換する空間光変調素子とを備えたインコヒーレント-コヒーレント変換部、および前記インコヒーレント-コヒーレント変換部から射出されたコヒーレント光に空間フィルタリング処理を施す空間フィルタリング部を具備したことを特徴とする空間フィルタリング装置。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 特開昭56-089714
  • 特開平2-293828

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