精密切削装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：佐々木功 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997232183
Publication number (International publication number)：1999074228
Application date： Aug. 28, 1997
Publication date： Mar. 16, 1999
Summary：

【要約】【課題】ブレードとスピンドルとを有する切削手段を2つ有する精密切削装置において、被加工物の切削の生産性を向上させる。【解決手段】スピンドルとブレードを有する2つの切削手段をY軸方向に移動可能に共通の基盤から吊垂すると共に、被加工物を保持してX軸方向に移動可能なチャックテーブルを配設した精密切削装置を提供する。そして、チャックテーブルをX軸方向に移動させて、2つのブレードによって同時に同一のストロークで切削を行い、生産性を向上させる。

Claim (excerpt)：

半導体ウェーハ等の被加工物を保持し切削送り経路にX軸方向に移動可能に配設されたチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する第一の切削手段及び第二の切削手段とを少なくとも含む精密切削装置であって、前記第一の切削手段は第一のブレードが装着される第一のスピンドルを含み、前記第二の切削手段は第二のブレードが装着される第二のスピンドルを含み、前記第一の切削手段と前記第二の切削手段とは、前記切削送り経路を跨いでY軸方向に配設された共通の割り出し送り経路に前記第一のブレードと前記第二のブレードとが対峙するように吊垂状態で配設されると共に、独立してスピンドルの軸心方向に割り出し送りされる精密切削装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

石板切断用多頭丸鋸盤
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-063934 Applicant：コマツエンジニアリング株式会社
ダイシング装置の切削位置補正方法及びその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-260096 Applicant：株式会社東京精密
特開平3-251072

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