Pat
J-GLOBAL ID：200903036613626077
質量分析型ガス漏れ検知器
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992287861
Publication number (International publication number)：1994137986
Application date： Oct. 26, 1992
Publication date： May. 20, 1994
Summary：
【要約】【目的】本発明は、フロンガスに替わる、ガス漏れ点検法に使用する、保守性に優れた、小型で、高感度の質量分析型ガス漏れ検知器を提供することを目的とする。【構成】本発明は、吸引ポンプ105によりガス導入管103に設けられた検知ガス透過膜106を通して質量分析部300に検知ガスが導入され、流量計104の表示マークによって防塵フィルター102を交換するガスサンプリング部100と、サンプリングガスに含まれる大気成分ガスを基準ガスとして検知ガス濃度を校正表示すると共に、前記大気成分ガスのイオン電流値に応じてフィラメントと検知ガス透過膜106の交換表示をする測定結果解析表示部400と、真空排気部200と、質量分析部300とからなる。
Claim (excerpt)：
ガスサンプリング部と真空排気部と質量分析部と測定結果解析表示部とからなる質量分析型ガス漏れ検知器において、前記測定結果解析表示部が、サンプリングガスに含まれる大気成分ガスを基準ガスとして検知ガス濃度を校正表示する機能と、前記大気成分ガスのイオン電流値に応じて複数のメッセ-ジを選択表示する機能とを少なくとも具備することを特徴とする質量分析型ガス漏れ検知器。
IPC (3)：
G01M 3/04
, G01N 23/225
, G01N 27/62
