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J-GLOBAL ID：200903036645404157
走査型プローブ顕微鏡
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
西岡 義明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994284718
Publication number (International publication number)：1996146013
Application date： Nov. 18, 1994
Publication date： Jun. 07, 1996
Summary：
【要約】【目的】カンチレバー交換時の着脱性、取り付け位置の微調整を容易にし、走査型プローブ顕微鏡の測定性能を劣化させないように、常に正常な探針による測定を提供する。【構成】先端に探針5bを保持したカンチレバー支持体5cを、両端を板バネ11に固着されたワイヤ11aによりカンチレバーホルダ部5aにバネ力により押圧保持する。
Claim (excerpt)：
試料とこれに対向配置した探針とを近接させ、探針又は試料を走査することにより、探針と試料表面との間の相互作用により生じる物理量を検出して試料表面の形状を原子レベルの分解能で測定する走査型プローブ顕微鏡において、先端に探針を保持した探針支持体を、両端を弾性体に保持されたワイヤ状部材によりホルダに押圧保持するようにしたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
