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J-GLOBAL ID：200903036649392919

研磨装置のキャリア

Inventor： 田中 秀男 ,  杉山 美寿男 ,  吉田 明利
Applicant, Patent owner： スピードファム・アイペック株式会社
Agent (1)： 塚原 孝和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998225674
Publication number (International publication number)：2000052241
Application date： Aug. 10, 1998
Publication date： Feb. 22, 2000
Summary：

【要約】【課題】 長期間の使用とワークピースの飛び出し防止とを可能にし、しかも研磨作業時におけるワークピースの損傷を防止可能なワークピース保持リングを有した研磨装置のキャリアを提供する。【解決手段】 キャリア1を、ウエハWをその下面で下定盤上に押圧しながら回転可能なキャリア本体2と、キャリア本体2の下面の外周部に設けられ且つウエハWを外側から囲んで保持するリテーナリング3とで構成した。そして、リテーナリング3を、エポキシグラス,ポリフェニレンサルファイド,ポリエチレンテレフタレート,ウレタン,ジュラコン,ポリエーテルエーテルケトン,ナイロン,ポリイミド,メラミン,及びフェノール等、接触時にウエハWをほとんど損傷させない軟質性素材で形成した内周リング部30と、ジルコニアセラミックス,アルミナセラミックス,及びチタン等、下定盤との接触時に生じる摩耗量が極めて少ない耐摩耗性素材で形成した外周リング部31とで構成した。

Claim (excerpt)：

ワークピースをその下面で定盤上に押圧しながら回転可能なキャリア本体と、このキャリア本体の上記下面の外周部に設けられ且つ上記ワークピースを囲んでこのワークピースを外側から保持するためのワークピース保持リングとを具備する研磨装置のキャリアにおいて、上記ワークピースと接触する上記ワークピース保持リングの内周部分を、接触時にワークピースをほとんど損傷させない軟質性素材で形成し、上記ワークピース保持リングおける上記定盤との接触部分を、定盤との接触時に生じる摩耗量が極めて少ない耐摩耗性素材で形成した、ことを特徴とする研磨装置のキャリア。

IPC (2)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 622

FI (2)：

B24B 37/04 E ,  H01L 21/304 622 G

F-Term (5)：

3C058AA07 ,  3C058AB04 ,  3C058CB02 ,  3C058DA06 ,  3C058DA17