Pat

J-GLOBAL ID：200903036673202411

波長変換素子及びその製造方法

Inventor： 竹間 清文 ,  尾上 篤
Applicant, Patent owner： パイオニア株式会社
Agent (1)： 藤村 元彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993157411
Publication number (International publication number)：1995036070
Application date： Jun. 28, 1993
Publication date： Feb. 07, 1995
Summary：

【要約】【目的】 光導波路の厚みをほぼ一様に且つ所望の寸法に作製する。【構成】 LiTaO3 基板10上にLiNbO3 薄膜11を形成し、LiNbO3 薄膜11上に光導波路14に対応するマスク12を形成する。マスク12を介してLiNbO3 薄膜11の所定領域13のプロトン交換処理を行う。プロトンが交換された領域13に対してさらにカリウムイオン交換処理をなして、光導波路14を作製する。【効果】 光導波路を伝搬する光のモードを低次にすることができ、入射波の第2高調波への変換効率を高くすることができる。

Claim (excerpt)：

光導波路に入射する光の第2高調波を出力する波長変換素子の製造方法であって、タンタル酸リチウム(LiTaO3 )からなる基板上に形成された所定膜厚のニオブ酸リチウム(LiNbO3 )からなる薄膜に前記光導波路に対応するマスクを形成する工程と、前記マスクを介して前記薄膜の所定領域のプロトン交換を行う工程と、前記プロトン交換が行われた領域についてカリウム(K+ )イオン交換を行う工程と、を有することを特徴とする波長変換素子の製造方法。

IPC (2)：

G02F 1/37 ,  G02B 6/13

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭60-017727
  
• 特開昭62-119505
  
• 特開昭64-023207