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J-GLOBAL ID：200903036673506445

明欠陥/暗欠陥検査装置

Inventor： 小森 三雄 ,  横山 享司 ,  高橋 雅之
Applicant, Patent owner： 東芝エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 三好 秀和 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994280965
Publication number (International publication number)：1996145904
Application date： Nov. 15, 1994
Publication date： Jun. 07, 1996
Summary：

【要約】【目的】 検出される欠陥が明欠陥であるか暗欠陥であるかを正確に識別してその欠陥を検査する。【構成】 デジタル画像データを縦横それぞれ所定数の画素行列からなるメッシュに分割し、その各メッシュ内の各画素の濃度情報を積分して各メッシュ毎の濃度加算値を求めるメッシュ積分回路5と、求められた濃度加算値を平均化する平均化フィルタ7と、平均化された濃度加算値と平均化される前の濃度加算値との差分を求める演算回路9と、求められた差分に基づいて明欠陥/暗欠陥を判定する判定回路11とを具備する。

Claim (excerpt)：

被検査物を撮像して得られた画素毎の濃度情報をデジタル画像データに変換して取り込む画像データ入力手段と、前記デジタル画像データを縦横それぞれ所定数の画素行列からなるメッシュに分割し、その各メッシュ内の各画素の濃度情報を積分して各メッシュ毎の濃度加算値を求めるメッシュ積分手段と、このメッシュ積分手段で求められた濃度加算値を平均化する平均化手段と、平均化された濃度加算値と平均化される前の濃度加算値との差分を求める演算手段と、求められた差分に基づいて明欠陥/暗欠陥を判定する判定手段と、を具備することを特徴とする明欠陥/暗欠陥検査装置。

IPC (3)：

G01N 21/88 ,  G06T 7/00 ,  G06T 5/20

FI (2)：

G06F 15/62 400 ,  G06F 15/68 405

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭50-153691
  
• 特開昭64-088139