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J-GLOBAL ID:200903036676294171

電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3): 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004001218
Publication number (International publication number):2004310053
Application date: Jan. 06, 2004
Publication date: Nov. 04, 2004
Summary:
【課題】 本発明は、酸素,水分等のガスや紫外線による電気光学層等の劣化を防止できるようにした電気光学装置の製造方法、及びこれにより製造された電気光学装置,電子機器を提供することを目的とする。【解決手段】 基板20上に、第1の電極23,電気光学層60,第2の電極50を順に積層してなる電気光学素子を有する電気光学装置の製造方法であって、気相成長法により、上記基板20上に、上記電気光学素子を覆うように紫外線吸収層30を形成する工程と、プラズマ雰囲気を伴う気相成長法により、上記紫外線吸収層30を覆うようにガスバリア層40を形成する工程とを備える。【選択図】 図10
Claim (excerpt):
基板上に、少なくとも第1の電極,電気光学層,第2の電極を順に積層してなる電気光学素子を有する電気光学装置の製造方法であって、 気相成長法により、上記基板上に、上記電気光学素子を覆うように紫外線吸収層を形成する工程と、 プラズマ雰囲気を伴う気相成長法により、上記紫外線吸収層を覆うようにガスバリア層を形成する工程とを備えたことを特徴とする、電気光学装置の製造方法。
IPC (5):
G09F9/00 ,  G09F9/30 ,  H05B33/04 ,  H05B33/12 ,  H05B33/22
FI (6):
G09F9/00 338 ,  G09F9/30 349Z ,  G09F9/30 365Z ,  H05B33/04 ,  H05B33/12 B ,  H05B33/22 Z
F-Term (64):
2H092JA24 ,  2H092JA28 ,  2H092JA34 ,  2H092JA37 ,  2H092JA41 ,  2H092KA04 ,  2H092MA07 ,  2H092MA08 ,  2H092MA14 ,  2H092MA18 ,  2H092MA22 ,  2H092MA25 ,  2H092MA27 ,  2H092NA25 ,  2H092NA29 ,  3K007AB11 ,  3K007AB12 ,  3K007AB13 ,  3K007BA06 ,  3K007BB01 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  3K007FA02 ,  5C094AA31 ,  5C094AA38 ,  5C094AA43 ,  5C094BA03 ,  5C094BA12 ,  5C094BA27 ,  5C094CA19 ,  5C094CA24 ,  5C094DA07 ,  5C094DA13 ,  5C094DB01 ,  5C094DB02 ,  5C094DB04 ,  5C094EA04 ,  5C094EA05 ,  5C094EA07 ,  5C094ED20 ,  5C094FA01 ,  5C094FA02 ,  5C094FB01 ,  5C094FB02 ,  5C094FB14 ,  5C094FB15 ,  5C094FB20 ,  5C094GB10 ,  5C094JA08 ,  5C094JA09 ,  5G435AA04 ,  5G435AA13 ,  5G435AA14 ,  5G435AA17 ,  5G435BB05 ,  5G435CC09 ,  5G435CC12 ,  5G435HH01 ,  5G435HH13 ,  5G435HH14 ,  5G435HH18 ,  5G435HH20 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2)
  • 有機EL素子
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平5-343635   Applicant:出光興産株式会社
  • 電界発光灯
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平8-162537   Applicant:関西日本電気株式会社
Cited by examiner (6)
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