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J-GLOBAL ID：200903036695398808
液晶表示装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997034620
Publication number (International publication number)：1997203912
Application date： Apr. 27, 1988
Publication date： Aug. 05, 1997
Summary：
【要約】【課題】付加容量の大きさを増加しても占有面積率を増加させず、画素の開口率の低下を起こさない液晶ディスプレイパネルを提供する。【解決手段】付加容量の誘電体膜として、Taを主成分とする金属の酸化物を少なくとも含む材料を用いる。【効果】液晶表示装置の開口率を向上することが出来る。
Claim (excerpt)：
隣接する二つのゲート線と隣接する二つの信号電極で形成される領域に薄膜トランジスタと付加容量と画素電極よりなる画素が形成された第1の基板と、対向基板と、液晶とを組み合わせてなる液晶表示装置であって、上記第1の基板上にタンタルを主成分とする金属膜により上記ゲート線と上記付加容量の一方の電極を設け、上記ゲート線と上記付加容量の一方の電極の表面にタンタルの酸化膜を設け、上記ゲート線と上記付加容量の一方の電極上にシリコンの窒化膜を設け、該シリコンの窒化膜上に半導体膜を設け、該半導体膜上にチャンネル保護膜を設け、上記半導体膜及び上記チャンネル保護膜上に不純物をドープした半導体膜を設け、上記不純物をドープした半導体膜上にソース電極及び上記信号電極を設け、透明導電膜より成り上記ソース電極に電気的に接続される画素電極を設け、上記タンタルの酸化膜及び上記シリコンの窒化膜を間に挾んで上記一方の電極と重なる他方の電極を設けて上記付加容量を構成し、上記付加容量の他方の電極は上記画素電極に電気的に接続され、上記信号電極は多層の導電膜からなることを特徴とする液晶表示装置。
IPC (4)：
G02F 1/136 500
, G02F 1/1343
, H01L 29/786
, H01L 21/336
G02F 1/136 500
, G02F 1/1343
, H01L 29/78 612 Z
, H01L 29/78 617 V
