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J-GLOBAL ID：200903036695626096

共通RF端子を有する対称並列な複数のコイルをもつ誘導結合プラズマ反応器

Inventor： ウェ-ユウ クィン ,  アーサー エイチ. サトウ
Applicant, Patent owner： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995283550
Publication number (International publication number)：1996227878
Application date： Oct. 31, 1995
Publication date： Sep. 03, 1996
Summary：

【要約】【課題】 最小の容量結合をもって、高い電力でウエハ表面にわたって高度に均一なプラズマを与える誘導結合用コイルアンテナを提供する。【解決手段】 本発明は、真空チャンバ内で半導体ウエハを処理する誘導結合プラズマの真空チャンバ内に、RFソースにより供給されるRF電力の放射を与えるためのコイルアンテナとして具体化され、この反応器は、真空チャンバ内に処理ガスを供給するためのガス供給流入口を有し、コイルアンテナは、複数の同心のらせん状の導電性巻線を有し、各巻線は、巻線のらせんの頂点先端附近に内側端部と、巻線のらせんの外縁に外側端部を有し、また、複数の同心らせん状巻線の内側端部に接続された共通端子を有し、RF電力ソースは、該端子と各巻線の外側端部とにわたって接続される。

Claim (excerpt)：

半導体ウエハを処理するプラズマ反応器であって、真空チャンバと、前記真空チャンバ内に処理ガスを導入させる手段と、前記真空チャンバの内部で前記半導体ウエハを支持するウエハペデスタルと、RF電力ソースと、前記真空チャンバの附近のコイルアンテナであって、複数の同心導電巻線であって、前記巻線はそれぞれ、巻線のらせんの頂点の附近に内側端部と、巻線のらせんの外縁に外側端部とを有する、前記巻線と、前記複数の同心らせん巻線の内側端部に接続された共通端子であって、前記端子と前記巻線の各一の外側端部とに前記RF電力ソースが接続される、前記共通端子と、を備える、前記コイルアンテナとを備えるプラズマ反応器。

IPC (5)：

H01L 21/3065 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/205 ,  H05H 1/46

FI (5)：

H01L 21/302 B ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 A ,  H01L 21/205 ,  H05H 1/46 L