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J-GLOBAL ID：200903036701903862

被加工物に付着した研掃材の除去方法

Inventor： 間瀬 恵二 ,  神田 真治
Applicant, Patent owner： 株式会社不二製作所
Agent (1)： 小倉 正明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995322019
Publication number (International publication number)：1997155743
Application date： Dec. 11, 1995
Publication date： Jun. 17, 1997
Summary：

【要約】【課題】 研掃材を噴射してブラスト加工した被加工物の、特に加工面の凹部に入り込んだ研掃材を確実に除去する方法を提供する。【解決手段】 研掃材を噴射してブラスト加工した被加工物としては、例えば、PDPの基板の片面の全表面にブラスト性を有する低融点ガラス層12を形成し、この低融点ガラス層12の表面にレジスト層13をパターン形成し、このレジスト層13側から研掃材を噴射してブラスト加工することにより、レジスト層13下層以外の低融点ガラス層12がすべて研掃材で研削され除去され、高精細なリブ14が形成される。リブ14の側の面をエアーブローしてもリブ14の間隙に入り込んだ研掃材を全て除去できないが、リブ14の側から水溶性の物質で成る水溶性粉体23を噴射し、この水溶性粉体23の衝突力で前記研掃材21を確実に除去し水溶性粉体23と入れ替える。このPDPを水洗いすることにより、PDPに付着した水溶性粉体23が水に溶解して確実に排出される。

Claim (excerpt)：

ブラスト加工した被加工物に水溶性粉体を噴射することにより、水溶性粉体の衝突力で被加工物に付着した研掃材を除去し、次いで当該被加工物を水洗いすることにより、被加工物に付着した水溶性粉体を水に溶解せしめて排出し除去することを特徴とする被加工物に付着した研掃材の除去方法。

IPC (3)：

B24C 11/00 ,  B24C 1/04 ,  B24C 9/00

FI (3)：

B24C 11/00 Z ,  B24C 1/04 F ,  B24C 9/00 C