近接場光検出方法およびその装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001003040
Publication number (International publication number)：2002207000
Application date： Jan. 10, 2001
Publication date： Jul. 26, 2002
Summary：

【要約】【課題】本発明は、原子〜ナノメートルの空間分解能を持つケルビンフォース顕微鏡により、このこの近接場光により励起される表面プラズモンの電位分布を調べることにより、近接場光の空間分布を計測するものであり、空間分解能と近接場の検出感度に優れる近接場光検出方法およびその装置を提供することを目的とする。【解決手段】本発明による近接場光検出方法およびその装置は、直流と交流の重畳する電圧が印加された導電性探針を振動させ、該探針電位と誘電体表面電位の間の静電気力を検知・制御することにより、誘電体表面に電磁波を照射したときに発生する近接場光を検出することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

直流と交流の重畳する電圧が印加された導電性探針を振動させ、該探針電位と誘電体表面電位の間の静電気力を検知・制御することにより、誘電体表面に電磁波を照射したときに発生する近接場光を検出することを特徴とする近接場光検出方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

走査型プローブ顕微鏡および走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-332323 Applicant：株式会社ニコン
物性情報測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-348584 Applicant：セイコー電子工業株式会社
走査型近視野顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-054609 Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社

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