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J-GLOBAL ID：200903036737265013

超音波顕微鏡用超音波発生・検出装置

Inventor： 東條 公資
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 武石 靖彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991233619
Publication number (International publication number)：1993072186
Application date： Sep. 13, 1991
Publication date： Mar. 23, 1993
Summary：

【要約】【目的】 非常に微小な領域まで検査することのできる超音波顕微鏡を実現する。【構成】 音響レンズの中心にレーザダイオード18を設け、レーザダイオード18から発生したパルス状のレーザ光を小さく絞って試料12の表面の目的箇所22に照射する。レーザ光が照射された箇所からは、その箇所の材料の物性等の情報を含む超音波が発生し、それが音響レンズにより集束されて圧電素子16により検出される。

Claim (excerpt)：

a)試料表面の限定された領域にパルス状のレーザ光を照射するレーザ光照射部と、b)上記領域から放出される超音波を集音して検出する超音波検出部と、を備えることを特徴とする超音波顕微鏡用超音波発生・検出装置。

IPC (3)：

G01N 29/20 501 ,  G01N 29/00 501 ,  G01N 29/24 501