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J-GLOBAL ID：200903036739202353

研磨パッドおよび研磨方法

Inventor： 中嶋 英晴
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 船橋 國則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999002413
Publication number (International publication number)：2000033553
Application date： Jan. 08, 1999
Publication date： Feb. 02, 2000
Summary：

【要約】【課題】 従来の研磨パッドでは研磨面に格子状の溝、または同心円状の溝が形成されていたが、溝によって十分にスラリーを研磨面と被研磨体との間に保持することができないため、高価なスラリーが多量に無駄になっていた。【解決手段】 被研磨体(図示省略)を研磨する研磨面12側に凹部13を設けた研磨パッド11において凹部13にスラリー保持体14を設けて、スラリーを効率良く一旦保持するようにしたものであり、スラリー保持体14は、例えば、多孔質樹脂、繊維状の樹脂を積層したもの、繊維状の樹脂またはひだ状の樹脂を凹部13の底部に密生させたものからなり、凹部13は研磨パッド11の中央部よりその外周方向に向けて形成されているものである。

Claim (excerpt)：

被研磨体を研磨する研磨面側の少なくとも一部がスラリー保持体で形成されていることを特徴とする研磨パッド。

IPC (3)：

B24B 37/00 ,  H01L 21/304 621 ,  H01L 21/304 622

FI (3)：

B24B 37/00 C ,  H01L 21/304 621 D ,  H01L 21/304 622 F