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J-GLOBAL ID：200903036744281466

窒化物上の酸化物をエッチングするための選択性の改良

Inventor： ジェフリー マークス ,  ケニス エス コリンズ ,  チャン ロン ヤン ,  ディヴィッド ダブリュー グローチェル ,  ピーター アール ケズウィック
Applicant, Patent owner： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
Agent (1)： 中村 稔 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992341780
Publication number (International publication number)：1994112171
Application date： Dec. 22, 1992
Publication date： Apr. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】 窒化物を不活性化するポリマーを生成させて、高い選択性をもって窒化物上の酸化物層をエッチングする方法を提供することにある。【構成】 炭素及びフッ素含有ガスから誘導され、且つフッ素に対するスカベンジャーに接触したプラズマ中でエッチングして、炭素を多く含んだ不活性化炭素-フッ素ポリマーを窒化物上に生成させることを特徴とする選択性の高い窒化物上の酸化物層のエッチング方法。

Claim (excerpt)：

炭素及びフッ素含有ガスから誘導され、且つフッ素に対するスカベンジャーに接触させたプラズマ中でエッチングして、炭素を多く含む不活性化炭素-フッ素ポリマーを窒化物上に生成させることを含む選択性の高い窒化物上の酸化物層のエッチング方法。

IPC (4)：

H01L 21/302 ,  C23C 16/30 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00