感放射線性樹脂組成物

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：福沢俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999207452
Publication number (International publication number)：2001033970
Application date： Jul. 22, 1999
Publication date： Feb. 09, 2001
Summary：

【要約】【課題】 PEDによりレジストパターンが線幅の変化を生じたりT型形状になったりすることがなく、反射率の高い基板上でも定在波を発生することがなく、解像性能に優れた化学増幅型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (A)下記式(1)で表される繰返し単位を含む共重合体、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔式(1)において、R1 は水素原子またはメチル基を示し、R2 は置換されていてもよい炭素数6〜20の脂環族基または置換されていてもよい炭素数6〜20の芳香族基を示す。〕

Claim (excerpt)：

(A)下記式(1)で表される繰返し単位を含む共重合体、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔式(1)において、R1 は水素原子またはメチル基を示し、R2 は置換されていてもよい炭素数6〜20の脂環族基または置換されていてもよい炭素数6〜20の芳香族基を示す。〕

IPC (3)：

G03F 7/039 601 , G03F 7/004 501 , H01L 21/027

FI (3)：

G03F 7/039 601 , G03F 7/004 501 , H01L 21/30 502 R

F-Term (11)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC05 , 2H025AC06 , 2H025AC07 , 2H025AC08 , 2H025BE00 , 2H025CB14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

レジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-141606 Applicant：日本ゼオン株式会社
レジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-097140 Applicant：日本ゼオン株式会社
レジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-097139 Applicant：日本ゼオン株式会社

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