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J-GLOBAL ID：200903036777940341

感光性樹脂組成物、それを用いた樹脂膜の製造法及び物品

Inventor： 鍛治 誠 ,  桑名 保宏 ,  鈴木 克巳 ,  松倉 郁生 ,  横塚 俊亮
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社 ,  旭硝子株式会社
Agent (1)： 若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997253226
Publication number (International publication number)：1999095431
Application date： Sep. 18, 1997
Publication date： Apr. 09, 1999
Summary：

【要約】【課題】 低誘電、低吸湿、優れた感光特性及び透明性を有する感光性樹脂組成物、低誘電、低吸湿等の膜特性に優れ、形状の良好なパターンを形成できる樹脂膜の製造法並びに低誘電、低吸湿等の膜特性に優れる表面保護膜、パッシベーション膜、層間絶縁膜等の樹脂膜を有する半導体装置、薄膜多層配線板等の電子部品などの物品を提供する。【解決手段】 (A)光反応基を有するフッ素樹脂と、(B)光重合開始剤及びアジド化合物から選ばれる少なくとも一種の化合物を含有してなる感光性樹脂組成物、この感光性樹脂組成物から得られたフィルムに、フォトマスクを介して活性光線の照射を行ったのち、現像液にて未露光部分を除去することを特徴とする樹脂膜の製造法並びにこの感光性樹脂組成物を用いて形成された樹脂膜を有してなる物品。

Claim (excerpt)：

(A)光反応基を有するフッ素樹脂と、(B)光重合開始剤及びアジド化合物から選ばれる少なくとも一種の化合物を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (5)：

G03F 7/038 505 ,  G03F 7/008 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312

FI (5)：

G03F 7/038 505 ,  G03F 7/008 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/312 D ,  H01L 21/30 502 R