Pat

J-GLOBAL ID：200903036793652879

細線状結晶製造装置及びこの装置を用いて細線状結晶を製造する方法

Inventor： 福田 承生 ,  阪口 新 ,  山田 透 ,  上岡 正嗣
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 山本 亮一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995035805
Publication number (International publication number)：1996231299
Application date： Feb. 24, 1995
Publication date： Sep. 10, 1996
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 高品位の細線状結晶を安定かつ高効率で得る。【構成】 坩堝と種保持具と前記坩堝および/又は種保持具が上下方向に可動な移動機構と、該坩堝を加熱する手段とを具備する細線状結晶製造装置において、前記坩堝および/又は種保持具の移動が、0.5mm/min 以上の速度で、その速度の設定値の1%以内の精度で行うことのできることを特徴とする細線状結晶製造装置。及びこの装置を用いて細線状結晶を製造する方法。

Claim (excerpt)：

坩堝と、種保持具と、前記坩堝および/又は種保持具が上下方向に可動な移動機構と、坩堝を加熱する手段とを具備する細線状結晶製造装置において、前記坩堝および/又は種保持具の移動が、 0.5mm/min以上の速度で、その速度の設定値の1%以内の精度で行うことのできることを特徴とする細線状結晶製造装置。