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J-GLOBAL ID：200903036797499234
被処理物の搬送装置および処理装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994024095
Publication number (International publication number)：1995227777
Application date： Feb. 22, 1994
Publication date： Aug. 29, 1995
Summary：
【要約】【目的】この発明は2つの保持体を1つの駆動源によって進退駆動させることができるようにした搬送装置を提供することにある。【構成】 第1の駆動源31によって回転駆動される回転テ-ブル28と、回転テ-ブルに中途部が回転自在に支持された一対の第1のリンク32と、第1のリンクの一端に基端部が回転自在に連結された一対の第2のリンク37と、第2のリンクの先端部に回転自在に連結され被処理物を保持する第1の保持部39を有する第1の保持体38と、第1のリンクの他端に基端部が回転自在に連結された一対の第3のリンク42と、第3のリンクの先端部に回転自在に連結され被処理物を保持する第2の保持部44を有する第2の保持体43と、第1のリンクの一方を回転駆動する第2の駆動源34と、第1のリンクと第2のリンクとの連結部分および上記第1のリンクと第3のリンクとの連結部分にそれぞれ設けられ第1のリンクの回転に上記第2のリンクと第3のリンクとを同期回転させる同期機構46a、46bとを具備したことを特徴とする。
Claim (excerpt)：
被処理物を前後方向および回転方向に搬送位置決めする搬送装置において、第1の駆動源によって回転駆動される回転テ-ブルと、この回転テ-ブルに中途部が回転自在に支持された一対の第1のリンクと、この第1のリンクの一端に基端部が回転自在に連結された一対の第2のリンクと、この第2のリンクの先端部に回転自在に連結され上記被処理物を保持する第1の保持部を有する第1の保持体と、上記第1のリンクの他端に基端部が回転自在に連結された一対の第3のリンクと、この第3のリンクの先端部に回転自在に連結され上記被処理物を保持する第2の保持部を有する第2の保持体と、上記第1のリンクの一方を回転駆動する第2の駆動源と、上記第1のリンクと第2のリンクとの連結部分および上記第1のリンクと第3のリンクとの連結部分にそれぞれ設けられ上記第1のリンクの回転に上記第2のリンクと第3のリンクとを同期回転させる同期機構とを具備したことを特徴とする被処理物の搬送装置。
IPC (3)：
B25J 9/06
, B25J 9/00
, H01L 21/68
