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J-GLOBAL ID：200903036806254924

回折格子型偏光子とその製造方法

Inventor： 花島 直樹
Applicant, Patent owner： ティーディーケイ株式会社
Agent (1)： 倉内 基弘 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993170938
Publication number (International publication number)：1995005316
Application date： Jun. 18, 1993
Publication date： Jan. 10, 1995
Summary：

【要約】【目的】 斜め蒸着法を用いた複屈折膜をエッチングしないで下地の特性を利用して複屈折性を調整して回折格子型偏光子を製作すること。【構成】 基板上に一定間隔で格子状の誘電体膜を蒸着し、前記基板及び誘電体膜の全体に、斜め蒸着法で複屈折材料を蒸着することにより下地の違いによる複屈折性の違いを有する複屈折膜を形成する。

Claim (excerpt)：

基板と、前記基板上に一定間隔で形成した格子状の誘電体膜と、前記基板及び誘電体膜の全体に、斜め蒸着法で形成した複屈折膜とよりなる回折格子型偏光子。