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J-GLOBAL ID：200903036816421667

多層膜反射鏡及び露光装置ならびに集積回路の製造方法。

Inventor： 村上 勝彦 ,  市原 裕
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999287767
Publication number (International publication number)：2001110709
Application date： Oct. 08, 1999
Publication date： Apr. 20, 2001
Summary：

【要約】【課題】 本発明は、現在の非球面の加工計測技術レベルで高い解像力を有し、更に微細なパターンを基板上に形成すること露光装置及び集積回路の製造方法を得ることを目的とする。【解決手段】 本発明では、マスク1に形成されたパターンを露光光で照明し、感光層が塗布された基板上2に投影光学系3によりパターンの像を形成する露光装置であって、露光光の波長が20nm以上50nm以下であり、かつ投影光学系は複数の非球面形状を有する反射鏡からなり、解像度71nm以下であることとした。

Claim (excerpt)：

マスクに形成されたパターンを露光光で照明し、感光層が塗布された基板上に投影光学系によって前記パターンの像を形成する露光装置であって、前記露光光の波長が20nm以上50nm以下であり、かつ前記投影光学系は少なくとも複数の非球面形状を有する反射鏡からなり、解像度71nm以下であることを特徴とする露光装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G02B 17/08 ,  G03F 7/20 503

FI (4)：

G02B 17/08 A ,  G03F 7/20 503 ,  H01L 21/30 531 A ,  H01L 21/30 531 E

F-Term (10)：

2H087KA21 ,  2H087TA02 ,  2H087TA06 ,  2H097AA02 ,  2H097BA02 ,  5F046GA03 ,  5F046GB01 ,  5F046GB09 ,  5F046GC03 ,  5F046GD10