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J-GLOBAL ID：200903036840606856

傾斜機能材料の製法および装置

Inventor： 大塚 昭彦 ,  新井山 政人
Applicant, Patent owner： 日新製鋼株式会社
Agent (1)： 和田 憲治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995028882
Publication number (International publication number)：1996199372
Application date： Jan. 26, 1995
Publication date： Aug. 06, 1996
Summary：

【要約】【目的】 膜厚方向に連続した組成勾配をもつ微細組織の傾斜機能材料を製造する。【構成】 プラズマフレームが炉内に放射するようにプラズマトーチを取り付けたプラズマ炉において,該プラズマ中に粉状原料を投入して該原料をガス化し,このガス化した成分を互いに会合させて粒径が1μm以下の超微粒子を該プラズマ炉内で生成させ,この超微粒子を同伴した流体を基板表面に衝突させることにより,基板表面に該超微粒子の付着層を形成し,そのさい,付着層の形成時間帯の間,プラズマ中に投入する粉状原料の組成を変化させることにより傾斜組成をもつ付着層を形成させ,得られた付着層をロールで圧延することからなる傾斜機能材料の製法。

Claim (excerpt)：

プラズマフレームが炉内に放射するようにプラズマトーチを取り付けたプラズマ炉において,該プラズマ中に粉状原料を投入して該原料をガス化し,このガス化した成分を互いに会合させて粒径が1μm以下の超微粒子を該プラズマ炉内で生成させ,この超微粒子を同伴した流体を基板表面に衝突させることにより,基板表面に該超微粒子の付着層を形成し,そのさい,付着層の形成時間帯の間,プラズマ中に投入する粉状原料の組成を変化させることにより傾斜組成をもつ付着層を形成させ,得られた付着層をロールで圧延することからなる傾斜機能材料の製法。

IPC (6)：

C23C 26/00 ,  B01J 19/08 ,  H01B 5/02 ,  H01B 13/00 501 ,  C23C 4/12 ,  C23C 14/22