Pat
J-GLOBAL ID:200903036855662809
ステージ装置とホルダ、および走査型露光装置並びに露光装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
志賀 正武 (外5名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000052558
Publication number (International publication number):2001244177
Application date: Feb. 28, 2000
Publication date: Sep. 07, 2001
Summary:
【要約】【課題】 温度制御精度に過多に依存することなく、基板に対する位置決め精度を維持する。【解決手段】 基板W1、W2を保持するホルダWH1、WH2と、ホルダWH1、WH2と所定の位置関係で配設された移動鏡20、22からの反射光に基づいて、基板W1、W2の位置を検出する位置検出装置9とを備え、移動鏡20、22の母材とホルダWH1、WH2とが熱膨張係数が1×10-6/°C以下のセラミックスからなる。
Claim (excerpt):
ステージ装置において、基板を保持するホルダと、前記ホルダと所定の位置関係で配設された移動鏡からの反射光に基づいて、前記基板の位置を検出する位置検出装置とを備え、前記移動鏡の母材と前記ホルダとが1×10-6/°C以下の熱膨張係数を有するセラミックスからなることを特徴とするステージ装置。
IPC (4):
H01L 21/027
, G01B 11/00
, G03F 7/22
, H01L 21/68
FI (5):
G01B 11/00 B
, G03F 7/22 H
, H01L 21/68 K
, H01L 21/30 515 G
, H01L 21/30 515 F
F-Term (43):
2F065AA03
, 2F065BB27
, 2F065CC20
, 2F065EE02
, 2F065FF52
, 2F065GG04
, 2F065HH04
, 2F065JJ05
, 2F065LL09
, 2F065LL13
, 2F065LL30
, 2F065PP12
, 2F065QQ03
, 5F031CA02
, 5F031CA07
, 5F031HA02
, 5F031HA08
, 5F031HA14
, 5F031HA57
, 5F031KA06
, 5F031KA15
, 5F031MA27
, 5F031PA11
, 5F031PA18
, 5F031PA21
, 5F031PA30
, 5F046AA22
, 5F046BA05
, 5F046CC01
, 5F046CC02
, 5F046CC03
, 5F046CC08
, 5F046CC09
, 5F046CC16
, 5F046CC17
, 5F046CC20
, 5F046DA06
, 5F046DA07
, 5F046DA26
, 5F046DB05
, 5F046DB11
, 5F046DC04
, 5F046DC10
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